第五十八章 半导体刻蚀

刻蚀设备,制造难度虽然比不上光刻机,但一样是半导体制造领域制造难度最高的几种设备之一,尤其是高等级的刻蚀设备,目前世界上也就泛林、应用材料、东京电子这三家可以做。

而这三家刻蚀设备制造公司,林志尧都在里面工作过,而且都是团队的核心人物、领导人物,是它们刻蚀设备能够成功并且迈向高端的最大功臣!

“现在的刻蚀技术按工艺划分可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。”

“湿法刻蚀包括化学刻蚀和电解刻蚀,使用的是液体试剂,所以成本较低,操作简单,应用范围较广。但是,这种方法容易出现边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥等步骤,不适合越来越先进的制程。”

“干法刻蚀就不同了,它的成本是很高的,选择的材料刻蚀性差,但是没有湿法刻蚀的缺点,通常是用离子束、高密度等离子体、反应离子等来刻蚀,刻蚀的侧面具有各向异性,具有较小的光刻胶脱落的优点,刻蚀率也高,所以现在的先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中,干法刻蚀有优势。”

……

原本应该激烈谈判的现场,赫然变成了一场技术交流会。

等讲解完,林志尧才发现自己似乎讲的太多了,不由失笑摇头。

好在陈副校长、周副主任、赵默等人都一脸认真的在倾听,每个人都大有收获的样子,林志尧这才暗松了口气。

“所以,反应离子源的问题虽然解决了,但其实对于国产刻蚀设备的制造来说只是万里长征第一步,而且反应离子刻蚀还需要更进一步的改进?”

赵默忽然若有所思的说道。

林志尧点头道:“是这样的。”

“竟然如此复杂!”

赵默暗暗震惊。

都说半导体是人类现代工业文明的结晶,他一直没什么概念,注意力和绝大部分的国人一样都集中在光刻机上。现在他知道了,的确是结晶,在半导体制造领域几乎没什么存在感的刻蚀设备竟然都如此的复杂,更别说光刻机了。

同时,他也知道了,各种科学原理的确代表了人类现代文明,但实际的工业制造一样代表着人类现代文明,不存在谁比谁高。

能够把这些原理打造出各种各样的机器设备,服务于现代文明,源源不断的为人类创造财富,某种程度上甚至更加的重要!

“真不容易啊~”

陈副校长感叹道,他是行政校长,不是学术类的,所以对这些详细的技术问题是第一次听说。

随后,他好奇的询问了一句:“我们国家在这一领域和国外的差距有多大?”

林志尧不假思索回答道:“二三十年吧,如果现在奋起直追,我相信在十年内可以把差距缩小到十年以内。”

“……”

陈副校长感到无比的惊愕,然后就继续这个话题了。

不太愉快的话题还是不要长谈的好。

赵默倒是无所顾虑,他知道,这个差距在的确很大,甚至在未来十年内都没什么改变。但是,这对于一个拥有举国体制,可以集中力量办大事的红色国度来说,这些都是可以解决的,因为半导体制造逐渐接近极限,这就给了我们追上来的可能。